西(xī)安無塵車間(jiān) 西(xī)安潔淨車間(jiān) 西(xī)安淨化(huà)車間(jiān)是為(wèi)了滿足半導體(tǐ)制造工(gōng)藝需求的(de)潔淨室，該無塵車間(jiān)對(duì)環境潔淨度、溫濕度控制等都(dōu)有(yǒu)一定的(de)要求。相(xiàng)對(duì)于其他(tā)工(gōng)業(yè)潔淨室，集成電(diàn)路(lù)制造無塵車間(jiān)有(yǒu)面積大、潔淨等級高(gāo)、溫濕度控制精度高(gāo)等特點。
根據潔淨室車間(jiān)空氣循環特點可以将潔淨室分為(wèi)三種類型：循環空調機(jī)配合高(gāo)效送風(fēng)口系統、循環風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統和(hé)FFU循環系統。
第一種形式在小(xiǎo)規模低(dī)等級要求的(de)潔淨室車間(jiān)設計(jì)中被廣泛應用，對(duì)于大面積高(gāo)等級的(de)潔淨車間(jiān)則存在運行成本過高(gāo)、占用空間(jiān)過大等缺點。
第二種形式的(de)設計(jì)可以滿足集成電(diàn)路(lù)制造無塵車間(jiān)大面積高(gāo)等級的(de)要求，但(dàn)運行成本較高(gāo)，并且潔淨室風(fēng)速、風(fēng)量調節困難，系統升級改造困難，因此操作(zuò)靈活性很(hěn)低(dī)。
第三種的(de)FFU循環系統不僅節省運行空間(jiān)、潔淨度安全性高(gāo)、運行成本低(dī)，而且操作(zuò)靈活性很(hěn)高(gāo)，可以在不影響生(shēng)産的(de)情況下(xià)随時(shí)進行系統升級和(hé)調整，這(zhè)些都(dōu)能很(hěn)好(hǎo)地(dì)滿足半導體(tǐ)制造的(de)需求，因此在半導體(tǐ)制造業(yè)FFU循環系統逐漸成為(wèi)最主要的(de)淨化(huà)設計(jì)方案。
FFU循環系統的(de)特點是：整個(gè)潔淨室由靜壓層、工(gōng)藝層、工(gōng)藝輔助層和(hé)回風(fēng)通(tōng)道(dào)組成，由FFU提供循環空氣的(de)動力，将新風(fēng)、循環風(fēng)混合後通(tōng)過超高(gāo)效過濾器(qì)送入工(gōng)藝層和(hé)工(gōng)藝輔助層，靜壓層相(xiàng)對(duì)于工(gōng)藝層為(wèi)負壓。此外(wài)，還(hái)有(yǒu)生(shēng)産輔助區(qū)為(wèi)集成電(diàn)路(lù)制造廠(chǎng)務設備區(qū)域，包括電(diàn)力供應、氣體(tǐ)和(hé)化(huà)學品供應、超純水(shuǐ)供應等。
集成電(diàn)路(lù)制造對(duì)無塵車間(jiān)環境的(de)控制有(yǒu)較為(wèi)嚴格的(de)要求。不同的(de)工(gōng)藝制程對(duì)潔淨度的(de)要求也各不相(xiàng)同，例如光(guāng)刻要求在1級的(de)微(wēi)環境下(xià)，而化(huà)學機(jī)械研磨則隻要求1000級的(de)環境即可。另外(wài)，集成電(diàn)路(lù)制造潔淨廠(chǎng)房(fáng)對(duì)噪聲、微(wēi)振、照(zhào)度等都(dōu)有(yǒu)相(xiàng)關的(de)規定和(hé)要求，尤其是振動的(de)控制，在潔淨室的(de)建築結構設計(jì)上(shàng)就要有(yǒu)所要求。
好(hǎo)的(de)潔淨車間(jiān)設計(jì)不僅能節省能源、降低(dī)運行成本、降低(dī)人(rén)力投入，而且可以給生(shēng)産提供安全可靠的(de)保證。在3種潔淨系統中，FFU循環系統運行成本最低(dī)，潔淨度安全性最高(gāo)，因此集成電(diàn)路(lù)潔淨廠(chǎng)房(fáng)多采用FFU循環系統。而潔淨度要求越高(gāo)，溫濕度控制精度越高(gāo)則潔淨室投資和(hé)運行成本越高(gāo)，因此在大環境潔淨度或溫濕度要求相(xiàng)對(duì)較低(dī)的(de)情況下(xià)，将一些關鍵的(de)工(gōng)藝設備布置在較高(gāo)潔淨度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電(diàn)路(lù)制造潔淨廠(chǎng)房(fáng)的(de)設計(jì)趨勢。
電(diàn)子(zǐ)廠(chǎng)制造是高(gāo)能耗的(de)産業(yè)，而潔淨空調系統的(de)能耗則占其中的(de)30%以上(shàng)，因此節能安全的(de)潔淨室設計(jì)和(hé)各種熱能回收設計(jì)将是未來(lái)的(de)發展方向。電(diàn)子(zǐ)廠(chǎng)潔淨車間(jiān) 無塵車間(jiān) 淨化(huà)車間(jiān)的(de)設計(jì)建造和(hé)節能創新也需要不斷提升，為(wèi)先進制程産品生(shēng)産提供保障。
